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公司简介

清华大学朱煜教授带领的国家重点领域 IC装备精密机械与测控创新团队（简称IC装备团队），核心团队包括11名教师、20多名在读博士/硕士研究生、30多名工程师。IC装备团队负责人朱煜教授现为机电所所长，入选国家万人计划首批科技创新领军人才，是02国家重大专项总体专家组副组长。IC团队围绕IC制造装备国家重大战略需求，针对光刻机工件台纳米级运动精度的技术目标，开展了超精密机械、测量、控制以及系统集成的协同创新研究，在基础理论、重大技术攻关及研发方面取得优秀成果，对相关领域与产业产生重要影响。2004年研制成功国内首台10nm精度同步扫描气浮运动试验系统；2008年研制出实现±2nm定位精度微动台；2009年承担02国家科技重大专项双工件台项目；2011年研制成功我国第一台光刻机双工件台样机；2015年承担的02专项项目完成全部考核指标，该项目的完成标志着我国成为世界上少数可以研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域最尖端系统的国家。IC团队重视基础理论和关键技术研究，着重培养超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC制造装备精密机电系统方面的领军人物和高端专业技术人才，提供先进的科研平台和教学实践基地。

招聘职位

机械类

不限经验|博士及以上学历

面议

西城区

2019-03-21

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光学工程

不限经验|博士及以上学历

面议

西城区

2019-03-21

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