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中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，是我国最早的工学研究机构之一。新中国成立后隶属中国科学院，曾命名中国科学院工学实验馆、中国科学院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根据学科领域和科研目标的调整，更名为中国科学院上海微系统与信息技术研究所，简称上海微系统所。 
十二五 期间，上海微系统所作为中科院第一个系统级型号任务的技术总体单位，突破了多功能复合传感器等关键技术，确立了特种宽带无线传感网系统解决方案，实现了在我国相关单元的大规模应用和通信体制由窄带向宽带的技术跨越。研制成功国内第一颗基于SOI材料的0.13um工艺大规模高可靠专用集成电路ASIC芯片，应用于北斗导航卫星等国家关键工程，为我国航天核心元器件的自主可控奠定坚实基础。超导单光子探测器SNSPD助力中科大潘建伟院士在国际上首次实现防止黑客攻击的200公里测量器件无关量子密钥分发，成果入选两院院士评选2014年中国十大科技进展。超高g加速度传感器为我国战略装备提供了不可替代产品，打破国际禁运。发起设立的MEMS技术产业化平台-上海微技术工业研究院被列为上海建设具有全球影响力科创中心的 四梁八柱 。自建国以来，上海微系统所获得国家级科技奖项46项、部省级347项，其中 甲种分离膜 技术获国家科技进步特等奖， 高速、超高速双极型数字集成电路 、 高端硅基SOI材料研发和产业化 获国家科技进步一等奖。