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中国科学院微电子研究所，前身为成立于1958年的原中国科学院109厂。1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。2003年9月，正式更名为中国科学院微电子研究所。

中国科学院微电子研究所是一所专门从事微电子领域研究与开发的国立研究机构，是中国科学院微电子技术的总体和中国科学院EDA中心的依托单位，主要研究方向为:①集成电路先导工艺与仪器装备技术;②集成电路与系统设计技术;③高性能器件与电路集成技术;④射频、微波器件与电路集成技术;⑤三维集成与系统封装技术;⑥新型纳米器件与集成技术;⑦物联网与传感器技术。

截至2014年底，中国科学院微电子研究所设有12个从事应用技术研究的研究室和2个从事前沿基础研究的重点实验室;共有在职职工1061人，其中科技人员819人、科技支撑人员203人，研究员及正高级工程技术人员72人、副研究员151人、高级工程技术人员64人;共有在学研究生293人（其中硕士研究生164人，博士研究生125人，留学生4人），有研究生导师117人（其中博士生导师44人，硕士生导师73人）。