研究内容和方向
1)90 nm~5 nm分辨率的高端光刻胶及配套材料
a. 90 nm~5 nm节点高端半导体光刻材料的研发;
b. 探索Moore s Law的材料极限,研发下一代10~5 nm分辨率的DSA光刻材料;
c. 研究DSA的图像化工艺和plasma刻蚀工艺;
d. 纳米器件的设计和加工;
2)10nm~5nm尺寸的纳米聚合物的精密设计和合成 (材料方向)
新型纳米材料、器件的研发,序列可控聚合物及其纳米复合材料的研究
课题组网站:www.polymer.fudan.edu.cn/polymer/research/denghai/
mp.weixin.qq.com/s/R9QVORhs_2p3hSVfxEAFCQ
三、应聘条件
研究内容:拓展已有DSA材料,并研发下一代的半导体芯片光刻工艺,形成5nm L/S分辨率的DSA光刻技术。
博士后1:
1、具有较强的微电子研究背景,具有EBL、RIE和SEM操作经验,有fab的光刻经验者优先考虑(应届的或者有工作经验的)。
2、需要具有一定的指导学生的能力。将会带领在读的硕士、博士生进行项目攻关,主要进行DSA材料的图案化结构处理、刻蚀工艺的探索以及结构表征等工作。
博士后2:
1、具有高分子合成或有机合成、有机金属合成背景,擅长纳米材料的表征如XRD,SEM,AFM等。有嵌段高分子共聚物或自组装方向研究经历者优先考虑。
2、有海外研究经历优先。
四、博士后薪资与待遇
博士后全职进入复旦珠海研究院工作,工作地点为上海,基本工资为每年35万以上,博士后如申请到中国博士后基金的,珠海市、横琴区都会给予1:1的资金配套;发表文章也会有奖励 SCI (按中科院JCR分区)1区 10万,2区 8万,3区 6万,4区 3万;EI期刊,2万;其他福利待遇参照复旦教师,如博士后公寓、五险一金等。课题组将提供充足的科研经费,良好的微纳电子和系统研究实验条件,并提供出国参加国际会议等访问交流机会。
本课题组与国内外的知名企业有广泛的合作,课题组成员可以跟踪了解半导体业界最先进的工艺流程和管理方式,可以为候选人提供未来事业发展的支持,可以优先推荐给陶氏化学、中芯国际等公司。
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