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复旦大学超精密运动控制与检测实验室杨晓峰教授课题组

上海市 - 浦东新区 |教育事业 |事业单位 |1000人以上
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公司简介

依托于复旦大学微电子学院和工程与应用技术研究院的超精密运动控制与检测实验室与上海市超精密运动控制与检测工程研究中心,以满足国家重大需求为牵引,以半导体光刻机、半导体检测装备开发为背景,积极开展超精密机电控制、光电检测技术和核心器件国产化方面的研究,拥有1500平米的科研办公与实验室。现有团队由复旦大学微电子学院及工研院的教师、工程师及硕士博士组成,共35人。

主要研究方向包括多轴机电控制系统的同步运动控制及高精度测量与补偿,超精密运动控制系统的先进控制方法研究,高精密减振器的设计与控制技术,高精度电机与特种电机开发,超高精度位移传感器与检测技术,以及高性能嵌入式系统技术等。实验室负责人杨晓峰教授在日本从事半导体制造装备的研发和生产技术多年,目前是微电子学院和工程与应用技术研究院的双聘教授、博士生导师,同时担任国家02重大专项总体组专家、02专项光刻机指挥部成员。目前在研项目包括国家科技重大专项02专项课题、上海市重大科研项目、广东省季华实验室重点研发项目以及横向科研项目多项。


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不限经验|博士及以上学历
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2020-01-09
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公司地址
地址:复旦大学超精密运动控制与检测实验室杨晓峰教授课题组
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